民国二十六年（1937年），设石佛镇。

1950年，分设石佛镇（1951年改为乡）,早阳乡,晚阳乡。

1952年，增设保峪乡。

1954年，再增峪峰乡。

1955年，5乡并为石佛乡和晚阳乡。

1956年，晚阳乡并入石佛乡。

1958年9月，石佛乡并入三阳公社。

1961年7月，分设石佛,早阳,晚阳3公社。

1966年和1968年，早阳,晚阳（1967年改为向阳）先后并入石佛，称向阳。

1971年，复名石佛。

1983年，石佛公社改乡。

2003年，原南河川乡撤销，马家山,樊家湾,董家河三村归并石佛乡管辖。

2011年11月，石佛乡改镇。